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レーザー・ダイレクト・リソグラフィーシステム

 レーザー・ダイレクト・リソグラフィーシステム

Aiscenttech社は10年以上の経験と100億円以上の開発費用をレーザー・ダイレクト・リソグラフィーシステムに投資して来ました。Aiscenttech社はマスクレス露光システムのパイオニアとして確固たる地位を築いています。この分野において20以上の特許及び知的財産を所有しています。
Aiscenttech社はハイパワー・ブルー−バイオレット・レーザーとデジタル・マイクロ・ミラーデバイス(DMD)を使用した、ダイナミック・イメージングを採用したALDI(Advanced Laser Dynamic Imaging)テクノロジーを発明しました。この技術によって、Aiscenttech社はマスクレス露光装置のリーディング・サプライヤーになりました。
Aiscenttech社は多様な業界や市場のアプリケーションに対応した製品を開発して来ました。これらは、プリント基板(PCB)生産、フラットパネル・ディスプレー(FPD)製造、高密度パケージング(HDP)印刷、セミコンダクター・リソグラフィー(SL)処理、マイクロエレクトロ・メカニカルシステム(MEMS)レーザーマシニング、及び医療アプリケーションをカバーしています。

 

ALDI-PBシリーズ(プリント基板用)
ALDI-HDPシリーズ(高密度パケージング用)
ALDI-FPシリーズ(フラットパネル・ディスプレー用)
ALDI-SLシリーズ(セミコンダクター・リソグラフィー用)
ALDI-SDシリーズ(球状デバイス用)
ALDI-TPシリーズ(タッチパネル・ディスプレー用)

 

 

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レーザー光源

Aiscenttech社はレーザー・ダイオード/LEDを使用した、特徴のある多様なファイバー結合レーザー光源を製造しています。Aiscenttech社はUV、可視光、そして近赤外及び多波長の、異なった波長のレーザー又はLEDコリメーテッドビームを提供しています。同時に、複数周波数出力の製品も提供しています。これらのレーザーの特徴としては、均一な照射分布、非コヒーレンス、正確なビームサイズ、高い安定性、及び長い寿命です。

 

● 大出力の製品【数mW〜100W(CW)以上のもの】

ファイバー結合出力(シングルモード、マルチモード、ファイバーバンドル、ファイバー結合)
ビーム照度均一性<5%のフリースペース出力、非コヒーレンス、円形、矩形ビーム(最大100mm x 100mm) 

 

● 卓上型、スタンドアロン型の製品

RS232/USBインターフェース付きの卓上型又はスタンドアロン型及びWindowベースの制御ソフトウエア
標準制御インターフェース付き組込用モジュールタイプ

 

波長

用途

レーザー・イメージ・プロジェクション  レーザーTV
レーザー標的  デジタル・プリンティング
バイオ機器  ラーマン・スペクトロメーター

 

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